Karbon Tetrafluorida (CF4)

Parameter Teknis

Karbon tetrafluorida adalah hidrokarbon terhalogenasi dengan rumus kimia CF4. Ini dapat dianggap sebagai hidrokarbon terhalogenasi, metana terhalogenasi, perfluorokarbon, atau sebagai senyawa anorganik. Karbon tetrafluorida adalah gas tidak berwarna dan tidak berbau, tidak larut dalam air, larut dalam benzena dan kloroform. Stabil di bawah suhu dan tekanan normal, hindari oksidan kuat, bahan mudah terbakar atau mudah terbakar. Gas yang tidak mudah terbakar, tekanan internal wadah akan meningkat bila terkena panas tinggi, dan terdapat bahaya retak dan ledakan. Ini stabil secara kimia dan tidak mudah terbakar. Hanya reagen logam amonia-natrium cair yang dapat bekerja pada suhu kamar. Karbon tetrafluorida merupakan gas yang menyebabkan efek rumah kaca. Ia sangat stabil, dapat bertahan di atmosfer untuk waktu yang lama, dan merupakan gas rumah kaca yang sangat kuat. Karbon tetrafluorida digunakan dalam proses etsa plasma di berbagai sirkuit terpadu. Ia juga digunakan sebagai gas laser, dan digunakan dalam pendingin suhu rendah, pelarut, pelumas, bahan isolasi, dan pendingin untuk detektor inframerah. Ini adalah gas etsa plasma yang paling banyak digunakan di industri mikroelektronika. Ini adalah campuran gas dengan kemurnian tinggi tetrafluorometana dan gas dengan kemurnian tinggi tetrafluorometana dan oksigen dengan kemurnian tinggi. Ini dapat digunakan secara luas dalam silikon, silikon dioksida, silikon nitrida, dan kaca fosfosilikat. Pengetsaan bahan film tipis seperti tungsten dan tungsten juga banyak digunakan dalam pembersihan permukaan perangkat elektronik, produksi sel surya, teknologi laser, pendinginan suhu rendah, pemeriksaan kebocoran, dan deterjen dalam produksi sirkuit cetak. Digunakan sebagai pendingin suhu rendah dan teknologi etsa kering plasma untuk sirkuit terpadu. Tindakan pencegahan untuk penyimpanan: Simpan di gudang gas yang sejuk dan berventilasi, tidak mudah terbakar. Jauhkan dari api dan sumber panas. Suhu penyimpanan tidak boleh melebihi 30°C. Ini harus disimpan secara terpisah dari bahan yang mudah terbakar dan oksidan, dan hindari penyimpanan campuran. Tempat penyimpanan harus dilengkapi dengan peralatan perawatan darurat kebocoran.

Aplikasi:

① Pendingin:

Tetrafluorometana terkadang digunakan sebagai zat pendingin bersuhu rendah.

② Mengetsa:

Ini digunakan dalam fabrikasi mikro elektronik sendiri atau dalam kombinasi dengan oksigen sebagai etsa plasma untuk silikon, silikon dioksida, dan silikon nitrida.

Paket biasa:

Keuntungan:

①Kemurnian tinggi, fasilitas terbaru;

②Produsen sertifikat ISO;

③Pengiriman cepat;

④Sistem analisis online untuk pengendalian kualitas di setiap langkah;

⑤Persyaratan tinggi dan proses yang cermat untuk menangani silinder sebelum diisi;