Informasi Gas Boron Trichloride BCL3

Boron Trichloride (BCL3)adalah senyawa anorganik yang biasa digunakan dalam proses etsa kering dan deposisi uap kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor. Ini adalah gas tidak berwarna dengan bau pedas yang kuat pada suhu kamar dan sensitif terhadap udara lembab karena menghidrolisis untuk menghasilkan asam klorida dan asam borat.

Aplikasi Boron Trichloride

Di industri semikonduktor,Boron Trichlorideterutama digunakan untuk etsa kering aluminium dan sebagai dopan untuk membentuk daerah tipe-p pada wafer silikon. Ini juga dapat digunakan untuk etsa bahan seperti GaAs, SI, ALN, dan sebagai sumber boron dalam aplikasi spesifik tertentu. Selain itu, Boron trichloride banyak digunakan dalam pemrosesan logam, industri kaca, analisis kimia dan penelitian laboratorium.

Keamanan Boron Trichloride

Boron Trichlorideadalah korosif dan beracun dan dapat menyebabkan kerusakan serius pada mata dan kulit. Ini menghidrolisis di udara lembab untuk melepaskan gas hidrogen klorida beracun. Oleh karena itu, langkah -langkah keamanan yang tepat perlu diambil saat menanganiBoron Trichloride, termasuk mengenakan pakaian pelindung, kacamata dan peralatan perlindungan pernapasan, dan beroperasi di lingkungan yang berventilasi baik.


Waktu posting: Jan-17-2025