Boron triklorida (BCl3)adalah senyawa anorganik yang umum digunakan dalam proses etsa kering dan deposisi uap kimia (CVD) dalam manufaktur semikonduktor. Senyawa ini berupa gas tak berwarna dengan bau menyengat yang kuat pada suhu ruangan dan sensitif terhadap udara lembap karena terhidrolisis menghasilkan asam klorida dan asam borat.

Aplikasi Boron Triklorida

Dalam industri semikonduktor,Boron trikloridaBoron triklorida terutama digunakan untuk etsa kering aluminium dan sebagai dopan untuk membentuk daerah tipe-P pada wafer silikon. Boron triklorida juga dapat digunakan untuk mengetsa material seperti GaAs, Si, AlN, dan sebagai sumber boron dalam aplikasi spesifik tertentu. Selain itu, Boron triklorida banyak digunakan dalam pemrosesan logam, industri kaca, analisis kimia, dan penelitian laboratorium.

Keamanan Boron Triklorida

Boron trikloridabersifat korosif dan beracun serta dapat menyebabkan kerusakan serius pada mata dan kulit. Zat ini terhidrolisis di udara lembap dan melepaskan gas hidrogen klorida yang beracun. Oleh karena itu, tindakan pencegahan yang tepat perlu dilakukan saat menanganinya.Boron triklorida, termasuk mengenakan pakaian pelindung, kacamata pelindung, dan peralatan perlindungan pernapasan, serta beroperasi di lingkungan yang berventilasi baik.