Boron triklorida (BCl3)adalah senyawa anorganik yang umum digunakan dalam proses etsa kering dan deposisi uap kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor. Senyawa ini berupa gas tak berwarna dengan bau menyengat pada suhu kamar dan sensitif terhadap udara lembap karena terhidrolisis menghasilkan asam klorida dan asam borat.

Aplikasi Boron Triklorida

Di industri semikonduktor,Boron trikloridaBoron triklorida terutama digunakan untuk etsa kering aluminium dan sebagai dopan untuk membentuk daerah tipe-P pada wafer silikon. Ia juga dapat digunakan untuk mengetsa material seperti GaAs, Si, AlN, dan sebagai sumber boron dalam aplikasi spesifik tertentu. Selain itu, boron triklorida banyak digunakan dalam pengolahan logam, industri kaca, analisis kimia, dan penelitian laboratorium.

Keamanan Boron Triklorida

Boron trikloridaBersifat korosif dan beracun serta dapat menyebabkan kerusakan serius pada mata dan kulit. Senyawa ini terhidrolisis di udara lembap dan melepaskan gas hidrogen klorida yang beracun. Oleh karena itu, tindakan keselamatan yang tepat perlu dilakukan saat menanganinya.Boron trikloridaTermasuk mengenakan pakaian pelindung, kacamata pelindung, dan alat pelindung pernapasan, serta beroperasi di lingkungan yang berventilasi baik.