gas laser

Gas laser terutama digunakan untuk anil laser dan gas litografi di industri elektronik. Memanfaatkan inovasi layar ponsel dan perluasan area aplikasi, skala pasar polisilikon suhu rendah akan semakin diperluas, dan proses anil laser telah meningkatkan kinerja TFT secara signifikan. Di antara gas neon, fluor, dan argon yang digunakan dalam laser excimer ArF untuk pembuatan semikonduktor, neon menyumbang lebih dari 96% campuran gas laser. Dengan penyempurnaan teknologi semikonduktor, penggunaan laser excimer telah meningkat, dan diperkenalkannya teknologi paparan ganda telah menyebabkan peningkatan tajam dalam permintaan gas neon yang dikonsumsi oleh laser excimer ArF. Dengan memanfaatkan promosi lokalisasi gas khusus elektronik, produsen dalam negeri akan memiliki ruang pertumbuhan pasar yang lebih baik di masa depan.

Mesin litografi adalah peralatan inti manufaktur semikonduktor. Litografi menentukan ukuran transistor. Pengembangan rantai industri litografi yang terkoordinasi merupakan kunci terobosan mesin litografi. Bahan semikonduktor yang cocok seperti photoresist, gas fotolitografi, photomask, dan peralatan pelapisan dan pengembangan memiliki kandungan teknologi tinggi. Gas litografi adalah gas yang dihasilkan oleh mesin litografi dengan laser ultraviolet dalam. Gas litografi yang berbeda dapat menghasilkan sumber cahaya dengan panjang gelombang berbeda, dan panjang gelombangnya secara langsung mempengaruhi resolusi mesin litografi, yang merupakan salah satu inti dari mesin litografi. Pada tahun 2020, total penjualan global mesin litografi akan mencapai 413 unit, dimana penjualan ASML 258 unit menyumbang 62%, penjualan Canon 122 unit menyumbang 30%, dan penjualan Nikon 33 unit menyumbang 8%.