Gas laser

Gas laser terutama digunakan untuk proses annealing laser dan gas litografi dalam industri elektronik. Berkat inovasi layar ponsel dan perluasan area aplikasi, skala pasar polisilikon suhu rendah akan semakin meluas, dan proses annealing laser telah secara signifikan meningkatkan kinerja TFT. Di antara gas neon, fluorin, dan argon yang digunakan dalam laser eksimer ArF untuk pembuatan semikonduktor, neon menyumbang lebih dari 96% dari campuran gas laser. Dengan penyempurnaan teknologi semikonduktor, penggunaan laser eksimer telah meningkat, dan pengenalan teknologi paparan ganda telah menyebabkan peningkatan tajam permintaan gas neon yang dikonsumsi oleh laser eksimer ArF. Berkat promosi lokalisasi gas khusus elektronik, produsen dalam negeri akan memiliki ruang pertumbuhan pasar yang lebih baik di masa depan.

Mesin litografi adalah peralatan inti dalam manufaktur semikonduktor. Litografi menentukan ukuran transistor. Pengembangan rantai industri litografi yang terkoordinasi adalah kunci terobosan mesin litografi. Material semikonduktor yang sesuai seperti photoresist, gas fotolitografi, photomask, dan peralatan pelapisan dan pengembangan memiliki kandungan teknologi yang tinggi. Gas litografi adalah gas yang digunakan mesin litografi untuk menghasilkan laser ultraviolet dalam. Gas litografi yang berbeda dapat menghasilkan sumber cahaya dengan panjang gelombang yang berbeda, dan panjang gelombangnya secara langsung memengaruhi resolusi mesin litografi, yang merupakan salah satu inti dari mesin litografi. Pada tahun 2020, total penjualan mesin litografi global mencapai 413 unit, di mana penjualan ASML sebanyak 258 unit menyumbang 62%, penjualan Canon sebanyak 122 unit menyumbang 30%, dan penjualan Nikon sebanyak 33 unit menyumbang 8%.