Hidrogen kloridaadalah gas tak berwarna dengan bau menyengat. Larutan berairnya disebut asam klorida, juga dikenal sebagai asam klorida. Hidrogen klorida sangat larut dalam air. Pada suhu 0°C, 1 volume air dapat melarutkan sekitar 500 volume hidrogen klorida.

Ia memiliki sifat dan karakteristik sebagai berikut:

1. Kemurnian tinggi

Kemurnian mutu elektronikhidrogen kloridasangat tinggi, biasanya pada tingkat ppm atau lebih rendah, untuk memastikan tidak ada kotoran yang masuk ke dalam proses produksi semikonduktor.

2. Ketidakstabilan

Ini adalah gas inert secara kimia yang tidak bereaksi dengan banyak zat lain, yang sangat penting untuk mencegah kontaminasi bahan dan peralatan semikonduktor.

3. Stabilitas tinggi

Kelas elektronikhidrogen kloridaumumnya memiliki kimia yang stabil untuk memastikan pemrosesan semikonduktor yang andal.

Dalam pemrosesan semikonduktor, aplikasi utama hidrogen klorida kelas elektronik meliputi:

1. Pembersihan dan persiapan permukaan

Sebagai pembersih permukaan yang efisien, kelas elektronikhidrogen kloridadigunakan untuk menghilangkan oksida dan kotoran dari permukaan substrat untuk memastikan kualitas dan kemurnian lapisan atau film epitaksial.

2. Bantuan pertumbuhan epitaksial

Digunakan sebagai agen perawatan permukaan dalam proses epitaksial, membantu meningkatkan kualitas lapisan epitaksial, meningkatkan pencocokan kisi, dan mengurangi pembentukan cacat kisi.

3. Perlakuan awal substrat

Sebelum persiapan perangkat semikonduktor, kelas elektronikhidrogen kloridadapat digunakan untuk merawat permukaan substrat guna membentuk dasar yang stabil guna meningkatkan daya rekat antara lapisan epitaksial dan substrat.

4. Agen pembantu pengendapan

Dalam proses deposisi uap kimia (CVD) atau deposisi uap fisik (PVD), hidrogen klorida kelas elektronik dapat digunakan sebagai media transfer fase gas untuk berpartisipasi dalam reaksi deposisi bahan semikonduktor.

5. Agen transfer fase gas

Sebagai agen pemindah fase gas, prekursor gas lainnya dimasukkan ke dalam ruang reaksi untuk membantu menyesuaikan laju pengendapan dan keseragaman material.

Karakteristik ini menjadikan kelas elektronikhidrogen kloridaagen pemrosesan penting dalam teknologi semikonduktor, yang memiliki dampak utama pada kinerja dan keandalan perangkat akhir.

Selain penggunaannya dalam pemrosesan semikonduktor, hidrogen klorida kelas elektronik dapat menemukan berbagai kegunaan di bidang lain, termasuk: Persiapan material dengan kemurnian tinggi, Sel Bahan Bakar, Pertumbuhan material semikonduktor, Litografi Fase Uap, Analisis Material, Penelitian Kimia.

Secara umum, kelas elektronikhidrogen kloridaadalah gas serbaguna dengan kemurnian tinggi yang memiliki berbagai aplikasi di luar manufaktur semikonduktor.