Hidrogen kloridaadalah gas tidak berwarna dengan bau pedas. Larutan airnya disebut asam klorida, juga dikenal sebagai asam klorida. Hidrogen klorida sangat larut dalam air. Pada 0 ° C, 1 volume air dapat melarutkan sekitar 500 volume hidrogen klorida.

Ini memiliki sifat dan karakteristik berikut:

1. Kemurnian tinggi

Kemurnian tingkat elektronikHidrogen kloridasangat tinggi, biasanya pada ppm atau tingkat bawah, untuk memastikan bahwa tidak ada kotoran yang dimasukkan ke dalam proses manufaktur semikonduktor.

2. Ketidakluhan

Ini adalah gas inert secara kimia yang tidak bereaksi dengan banyak zat lain, yang sangat penting untuk mencegah kontaminasi bahan dan peralatan semikonduktor.

3. Stabilitas tinggi

Tingkat elektronikHidrogen kloridaUmumnya memiliki kimia yang stabil untuk memastikan pemrosesan semikonduktor yang andal.

Dalam pemrosesan semikonduktor, aplikasi utama hidrogen klorida elektronik meliputi:

1. Pembersihan dan persiapan permukaan

Sebagai pembersih permukaan yang efisien, tingkat elektronikHidrogen kloridadigunakan untuk menghilangkan oksida dan kotoran dari permukaan substrat untuk memastikan kualitas dan kemurnian lapisan atau film epitaxial.

2. Bantuan Pertumbuhan Epitaxial

Digunakan sebagai agen pengolahan permukaan dalam proses epitaxial, membantu meningkatkan kualitas lapisan epitaxial, meningkatkan pencocokan kisi, dan mengurangi pembentukan cacat kisi.

3. Pretreatment Substrat

Sebelum persiapan perangkat semikonduktor, tingkat elektronikHidrogen kloridadapat digunakan untuk mengobati permukaan substrat untuk membentuk dasar yang stabil untuk meningkatkan adhesi antara lapisan epitaxial dan substrat.

4. Deposisi Agen tambahan

Dalam proses deposisi uap kimia (CVD) atau deposisi uap fisik (PVD), hidrogen klorida tingkat elektronik dapat digunakan sebagai media transfer fase gas untuk berpartisipasi dalam reaksi pengendapan bahan semikonduktor.

5. Agen transfer fase gas

Sebagai agen transfer fase gas, prekursor gas lainnya dimasukkan ke dalam ruang reaksi untuk membantu menyesuaikan laju pengendapan dan keseragaman material.

Karakteristik ini membuat tingkat elektronikHidrogen kloridaAgen pemrosesan penting dalam teknologi semikonduktor, yang memiliki dampak utama pada kinerja dan keandalan perangkat akhir.

Selain penggunaannya dalam pemrosesan semikonduktor, hidrogen klorida elektronik dapat menemukan berbagai penggunaan di area lain, termasuk: persiapan bahan kemurnian tinggi, sel bahan bakar, pertumbuhan bahan semikonduktor, litografi fase uap, analisis material, penelitian kimia.

Secara umum, tingkat elektronikHidrogen kloridaadalah gas serbaguna, kemurnian tinggi yang memiliki berbagai aplikasi di luar manufaktur semikonduktor.