Hidrogen kloridaHidrogen klorida adalah gas tak berwarna dengan bau menyengat. Larutan airnya disebut asam klorida, juga dikenal sebagai asam hidroklorida. Hidrogen klorida sangat larut dalam air. Pada suhu 0°C, 1 volume air dapat melarutkan sekitar 500 volume hidrogen klorida.

Ia memiliki sifat dan karakteristik sebagai berikut:

1. Kemurnian tinggi

Kemurnian kualitas elektronikhidrogen kloridaKonsentrasinya sangat tinggi, biasanya pada tingkat ppm atau lebih rendah, untuk memastikan bahwa tidak ada pengotor yang masuk ke dalam proses pembuatan semikonduktor.

2. Kelembaman

Gas ini merupakan gas inert secara kimia yang tidak bereaksi dengan banyak zat lain, yang sangat penting untuk mencegah kontaminasi material dan peralatan semikonduktor.

3. Stabilitas tinggi

Kelas elektronikhidrogen kloridaSecara umum memiliki komposisi kimia yang stabil untuk memastikan pemrosesan semikonduktor yang andal.

Dalam pengolahan semikonduktor, aplikasi utama hidrogen klorida kelas elektronik meliputi:

1. Pembersihan dan persiapan permukaan

Sebagai pembersih permukaan yang efisien, kelas elektronikhidrogen kloridaDigunakan untuk menghilangkan oksida dan pengotor dari permukaan substrat untuk memastikan kualitas dan kemurnian lapisan atau film epitaksial.

2. Alat bantu pertumbuhan epitaksial

Digunakan sebagai agen perawatan permukaan dalam proses epitaksi, ia membantu meningkatkan kualitas lapisan epitaksi, meningkatkan kesesuaian kisi, dan mengurangi pembentukan cacat kisi.

3. Praperlakuan substrat

Sebelum pembuatan perangkat semikonduktor, kelas elektronikhidrogen kloridaDapat digunakan untuk mengolah permukaan substrat guna membentuk dasar yang stabil untuk meningkatkan daya rekat antara lapisan epitaksial dan substrat.

4. Agen pembantu pengendapan

Dalam proses pengendapan uap kimia (CVD) atau pengendapan uap fisik (PVD), hidrogen klorida kelas elektronik dapat digunakan sebagai media transfer fase gas untuk berpartisipasi dalam reaksi pengendapan material semikonduktor.

5. Agen transfer fase gas

Sebagai agen transfer fase gas, prekursor gas lainnya dimasukkan ke dalam ruang reaksi untuk membantu menyesuaikan laju pengendapan dan keseragaman material.

Karakteristik ini menjadikan produk ini berkualitas elektronik.hidrogen kloridamerupakan agen pemrosesan penting dalam teknologi semikonduktor, yang memiliki dampak kunci pada kinerja dan keandalan perangkat akhir.

Selain penggunaannya dalam pemrosesan semikonduktor, hidrogen klorida kelas elektronik dapat digunakan di berbagai bidang lain, termasuk: Pembuatan material dengan kemurnian tinggi, Sel Bahan Bakar, Pertumbuhan material semikonduktor, Litografi Fase Uap, Analisis Material, Penelitian Kimia.

Secara umum, kelas elektronikhidrogen kloridaadalah gas serbaguna dengan kemurnian tinggi yang memiliki berbagai macam aplikasi di luar manufaktur semikonduktor.