Elektronikgas khususadalah cabang penting dari gas khusus. Mereka menembus hampir setiap jalur produksi semikonduktor dan merupakan bahan mentah yang sangat diperlukan untuk produksi industri elektronik seperti sirkuit terpadu skala ultra besar, perangkat layar panel datar, dan sel surya.

Dalam teknologi semikonduktor, gas yang mengandung fluor banyak digunakan. Saat ini, di pasar gas elektronik global, gas elektronik yang mengandung fluor menyumbang sekitar 30% dari total volume. Gas elektronik yang mengandung fluor merupakan komponen penting dari gas elektronik khusus di bidang materi informasi elektronik. Mereka terutama digunakan sebagai bahan pembersih dan bahan pengetsa, dan juga dapat digunakan sebagai dopan, bahan pembentuk film, dll. Dalam artikel ini, penulis akan membawa Anda untuk memahami gas umum yang mengandung fluor.

Berikut ini adalah gas-gas yang mengandung fluor yang biasa digunakan

Nitrogen trifluorida (NF3): Gas yang digunakan untuk membersihkan dan menghilangkan endapan, biasanya digunakan untuk membersihkan ruang reaksi dan permukaan peralatan.

Sulfur heksafluorida (SF6): Zat fluorinasi yang digunakan dalam proses pengendapan oksida dan sebagai gas isolasi untuk mengisi media isolasi.

Hidrogen fluorida (HF): Digunakan untuk menghilangkan oksida dari permukaan silikon dan sebagai etsa untuk mengetsa silikon dan bahan lainnya.

Nitrogen fluorida (NF): Digunakan untuk mengetsa bahan seperti silikon nitrida (SiN) dan aluminium nitrida (AlN).

Trifluorometana (CHF3) dantetrafluorometana (CF4): Digunakan untuk mengetsa bahan fluorida seperti silikon fluorida dan aluminium fluorida.

Namun, gas yang mengandung fluor memiliki bahaya tertentu, termasuk toksisitas, sifat korosif, dan mudah terbakar.

Toksisitas

Beberapa gas yang mengandung fluor bersifat racun, seperti hidrogen fluorida (HF), yang uapnya sangat mengiritasi kulit dan saluran pernapasan serta berbahaya bagi kesehatan manusia.

Sifat korosif

Hidrogen fluorida dan beberapa fluorida bersifat sangat korosif dan dapat menyebabkan kerusakan serius pada kulit, mata, dan saluran pernapasan.

Sifat mudah terbakar

Beberapa fluorida mudah terbakar dan bereaksi dengan oksigen atau air di udara untuk melepaskan panas yang hebat dan gas beracun, yang dapat menyebabkan kebakaran atau ledakan.

Bahaya tekanan tinggi

Beberapa gas berfluorinasi bersifat mudah meledak di bawah tekanan tinggi dan memerlukan perawatan khusus saat digunakan dan disimpan.

Dampak terhadap lingkungan

Gas yang mengandung fluor memiliki umur atmosfer dan nilai GWP yang tinggi, yang mempunyai efek merusak pada lapisan ozon di atmosfer dan dapat menyebabkan pemanasan global dan pencemaran lingkungan.

Penerapan gas di bidang-bidang baru seperti elektronik semakin meningkat, sehingga menimbulkan permintaan baru yang besar terhadap gas industri. Berdasarkan besarnya kapasitas produksi baru komponen elektronik utama seperti semikonduktor dan panel display di Tiongkok daratan dalam beberapa tahun ke depan, serta kuatnya permintaan substitusi impor bahan kimia elektronik, industri gas elektronik dalam negeri akan mengantarkan pada tingkat pertumbuhan yang tinggi.