Elektronikgas khususGas-gas khusus merupakan cabang penting dari kelompok gas-gas tersebut. Gas-gas ini menembus hampir setiap tahapan produksi semikonduktor dan merupakan bahan baku yang sangat diperlukan untuk produksi industri elektronik seperti sirkuit terpadu ultra-besar, perangkat layar panel datar, dan sel surya.

Dalam teknologi semikonduktor, gas yang mengandung fluorin banyak digunakan. Saat ini, di pasar gas elektronik global, gas elektronik yang mengandung fluorin mencakup sekitar 30% dari total pasar. Gas elektronik yang mengandung fluorin merupakan komponen penting dari gas elektronik khusus di bidang material informasi elektronik. Gas ini terutama digunakan sebagai zat pembersih dan zat pengikis, dan juga dapat digunakan sebagai dopan, material pembentuk film, dan lain sebagainya. Dalam artikel ini, penulis akan mengajak Anda untuk memahami gas-gas yang mengandung fluorin yang umum digunakan.

Berikut ini adalah gas-gas yang mengandung fluorin yang umum digunakan.

Nitrogen trifluorida (NF3): Gas yang digunakan untuk membersihkan dan menghilangkan endapan, biasanya digunakan untuk membersihkan ruang reaksi dan permukaan peralatan.

Sulfur heksafluorida (SF6): Suatu zat fluorinasi yang digunakan dalam proses pengendapan oksida dan sebagai gas isolasi untuk mengisi media isolasi.

Hidrogen fluorida (HF): Digunakan untuk menghilangkan oksida dari permukaan silikon dan sebagai bahan pengikis untuk mengikis silikon dan bahan lainnya.

Nitrogen fluorida (NF): Digunakan untuk mengikis material seperti silikon nitrida (SiN) dan aluminium nitrida (AlN).

Trifluorometana (CHF3) dantetrafluorometana (CF4)Digunakan untuk mengikis bahan fluorida seperti silikon fluorida dan aluminium fluorida.

Namun, gas yang mengandung fluorin memiliki bahaya tertentu, termasuk toksisitas, korosif, dan mudah terbakar.

Toksisitas

Beberapa gas yang mengandung fluorin bersifat beracun, seperti hidrogen fluorida (HF), yang uapnya sangat mengiritasi kulit dan saluran pernapasan serta berbahaya bagi kesehatan manusia.

Korosifitas

Hidrogen fluorida dan beberapa fluorida sangat korosif dan dapat menyebabkan kerusakan serius pada kulit, mata, dan saluran pernapasan.

Mudah terbakar

Beberapa jenis fluorida mudah terbakar dan bereaksi dengan oksigen atau air di udara untuk melepaskan panas yang hebat dan gas beracun, yang dapat menyebabkan kebakaran atau ledakan.

Bahaya tekanan tinggi

Beberapa gas berfluorinasi bersifat mudah meledak di bawah tekanan tinggi dan memerlukan penanganan khusus saat digunakan dan disimpan.

Dampak terhadap lingkungan

Gas yang mengandung fluorin memiliki masa hidup atmosfer yang tinggi dan nilai GWP (Global Warming Potential), yang memiliki efek merusak pada lapisan ozon atmosfer dan dapat menyebabkan pemanasan global serta polusi lingkungan.

Penerapan gas di bidang-bidang baru seperti elektronik terus berkembang, sehingga memunculkan permintaan baru yang besar untuk gas industri. Berdasarkan besarnya kapasitas produksi baru komponen elektronik utama seperti semikonduktor dan panel display di Tiongkok daratan dalam beberapa tahun mendatang, serta permintaan yang kuat untuk substitusi impor bahan kimia elektronik, industri gas elektronik domestik akan mengalami pertumbuhan yang tinggi.