ElektronikGas Khususadalah cabang penting dari gas khusus. Mereka menembus hampir setiap tautan produksi semikonduktor dan merupakan bahan baku yang sangat diperlukan untuk produksi industri elektronik seperti sirkuit terintegrasi skala ultra-besar, perangkat tampilan panel datar, dan sel surya.

Dalam teknologi semikonduktor, gas yang mengandung fluor banyak digunakan. Saat ini, di pasar gas elektronik global, gas elektronik yang mengandung fluorin menyumbang sekitar 30% dari total. Gas elektronik yang mengandung fluor adalah komponen penting dari gas elektronik khusus di bidang bahan informasi elektronik. Mereka terutama digunakan sebagai agen pembersih dan agen etsa, dan juga dapat digunakan sebagai dopan, bahan pembentuk film, dll. Dalam artikel ini, penulis akan membawa Anda untuk memahami gas yang mengandung fluorin yang umum.

Berikut ini adalah gas yang mengandung fluor yang umum digunakan

Nitrogen Trifluoride (NF3): Gas yang digunakan untuk membersihkan dan menghilangkan endapan, biasanya digunakan untuk membersihkan ruang reaksi dan permukaan peralatan.

Sulphur hexafluoride (SF6): Agen fluorinasi yang digunakan dalam proses pengendapan oksida dan sebagai gas isolasi untuk mengisi media isolasi.

Hidrogen fluoride (HF): Digunakan untuk menghilangkan oksida dari permukaan silikon dan sebagai etchant untuk silikon etsa dan bahan lainnya.

Nitrogen fluoride (NF): Digunakan untuk etsa bahan seperti silikon nitrida (dosa) dan aluminium nitrida (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) danTetrafluoromethane (CF4): Digunakan untuk etsa bahan fluorida seperti silikon fluorida dan aluminium fluorida.

Namun, gas yang mengandung fluor memiliki bahaya tertentu, termasuk toksisitas, korosif, dan kemampuan mudah terbakar.

Toksisitas

Beberapa gas yang mengandung fluorin beracun, seperti hidrogen fluoride (HF), yang uapnya sangat mengiritasi kulit dan saluran pernapasan dan berbahaya bagi kesehatan manusia.

Korosif

Hidrogen fluorida dan beberapa fluorida sangat korosif dan dapat menyebabkan kerusakan serius pada kulit, mata, dan saluran pernapasan.

Kemampuan terbakar

Beberapa fluorida mudah terbakar dan bereaksi dengan oksigen atau air di udara untuk melepaskan panas yang intens dan gas beracun, yang dapat menyebabkan kebakaran atau ledakan.

Bahaya bertekanan tinggi

Beberapa gas berfluorinasi eksplosif di bawah tekanan tinggi dan membutuhkan perawatan khusus saat digunakan dan disimpan.

Dampak pada lingkungan

Gas yang mengandung fluorin memiliki masa hidup atmosfer yang tinggi dan nilai-nilai GWP, yang memiliki efek destruktif pada lapisan ozon atmosfer dan dapat menyebabkan pemanasan global dan polusi lingkungan.

Penerapan gas di bidang yang muncul seperti elektronik terus semakin dalam, membawa sejumlah besar permintaan baru untuk gas industri. Berdasarkan sejumlah besar kapasitas produksi baru komponen elektronik utama seperti semikonduktor dan panel tampilan di daratan Cina dalam beberapa tahun mendatang, serta permintaan kuat untuk substitusi impor bahan kimia elektronik, industri gas elektronik domestik akan mengantarkan tingkat pertumbuhan yang tinggi.