SilanaSilana adalah senyawa silikon dan hidrogen, dan merupakan istilah umum untuk serangkaian senyawa. Silana terutama meliputi monosilana (SiH4), disilana (Si2H6) dan beberapa senyawa silikon hidrogen tingkat tinggi, dengan rumus umum SinH2n+2. Namun, dalam produksi aktual, kita umumnya menyebut monosilana (rumus kimia SiH4) sebagai "silana".

Kelas elektronikgas silanaSilana terutama diperoleh melalui berbagai reaksi distilasi dan pemurnian bubuk silikon, hidrogen, silikon tetraklorida, katalis, dll. Silana dengan kemurnian 3N hingga 4N disebut silana kelas industri, dan silana dengan kemurnian lebih dari 6N disebut gas silana kelas elektronik.

Sebagai sumber gas untuk mengangkut komponen silikon,gas silanaMonosilane telah menjadi gas khusus penting yang tidak dapat digantikan oleh banyak sumber silikon lainnya karena kemurniannya yang tinggi dan kemampuannya untuk mencapai kontrol yang presisi. Monosilane menghasilkan silikon kristalin melalui reaksi pirolisis, yang saat ini merupakan salah satu metode produksi silikon monokristalin granular dan silikon polikristalin dalam skala besar di dunia.

Karakteristik silana

Silana (SiH4)Silana adalah gas tak berwarna yang bereaksi dengan udara dan menyebabkan sesak napas. Sinonimnya adalah silikon hidrida. Rumus kimia silana adalah SiH4, dan kandungannya mencapai 99,99%. Pada suhu dan tekanan ruangan, silana adalah gas beracun yang berbau busuk. Titik leleh silana adalah -185℃ dan titik didihnya adalah -112℃. Pada suhu ruangan, silana stabil, tetapi ketika dipanaskan hingga 400℃, ia akan terurai sepenuhnya menjadi silikon dan hidrogen dalam bentuk gas. Silana mudah terbakar dan meledak, dan akan terbakar secara eksplosif di udara atau gas halogen.

Bidang aplikasi

Silana memiliki beragam kegunaan. Selain menjadi cara paling efektif untuk menempelkan molekul silikon ke permukaan sel selama produksi sel surya, silana juga banyak digunakan di pabrik manufaktur seperti semikonduktor, layar panel datar, dan kaca berlapis.

SilanaSilikon merupakan sumber silikon untuk proses pengendapan uap kimia seperti silikon kristal tunggal, wafer epitaksial silikon polikristalin, silikon dioksida, silikon nitrida, dan kaca fosfosilikat dalam industri semikonduktor, dan banyak digunakan dalam produksi dan pengembangan sel surya, drum mesin fotokopi silikon, sensor fotolistrik, serat optik, dan kaca khusus.

Dalam beberapa tahun terakhir, aplikasi teknologi tinggi dari silan terus bermunculan, termasuk pembuatan keramik canggih, material komposit, material fungsional, biomaterial, material berenergi tinggi, dan lain-lain, yang menjadi dasar dari banyak teknologi baru, material baru, dan perangkat baru.