Silanaadalah senyawa silikon dan hidrogen, dan merupakan istilah umum untuk serangkaian senyawa. Silana terutama mencakup monosilana (SiH4), disilana (Si2H6), dan beberapa senyawa silikon-hidrogen tingkat tinggi, dengan rumus umum SinH2n+2. Namun, dalam produksi aktual, kita umumnya menyebut monosilana (rumus kimia SiH4) sebagai "silana".

Kelas elektronikgas silanaterutama diperoleh dengan berbagai reaksi distilasi dan pemurnian bubuk silikon, hidrogen, silikon tetraklorida, katalis, dll. Silana dengan kemurnian 3N hingga 4N disebut silana tingkat industri, dan silana dengan kemurnian lebih dari 6N disebut gas silana tingkat elektronik.

Sebagai sumber gas untuk membawa komponen silikon,gas silanaTelah menjadi gas khusus penting yang tak tergantikan oleh banyak sumber silikon lainnya karena kemurniannya yang tinggi dan kemampuannya mencapai kontrol yang halus. Monosilana menghasilkan silikon kristal melalui reaksi pirolisis, yang saat ini merupakan salah satu metode produksi silikon monokristalin granular dan silikon polikristalin skala besar di dunia.

Karakteristik silana

Silana (SiH4)Silana adalah gas tak berwarna yang bereaksi dengan udara dan menyebabkan mati lemas. Sinonimnya adalah silikon hidrida. Rumus kimia silana adalah SiH4, dan kandungannya mencapai 99,99%. Pada suhu dan tekanan ruangan, silana merupakan gas beracun yang berbau busuk. Titik leleh silana adalah -185°C dan titik didihnya -112°C. Pada suhu ruangan, silana stabil, tetapi ketika dipanaskan hingga 400°C, ia akan terurai sempurna menjadi gas silikon dan hidrogen. Silana mudah terbakar dan meledak, dan akan terbakar secara eksplosif di udara atau gas halogen.

Bidang aplikasi

Silana memiliki beragam kegunaan. Selain menjadi cara paling efektif untuk menempelkan molekul silikon ke permukaan sel selama produksi sel surya, silana juga banyak digunakan di pabrik-pabrik manufaktur seperti semikonduktor, layar panel datar, dan kaca berlapis.

Silanaadalah sumber silikon untuk proses deposisi uap kimia seperti silikon kristal tunggal, wafer epitaksial silikon polikristalin, silikon dioksida, silikon nitrida, dan kaca fosfosilikat dalam industri semikonduktor, dan banyak digunakan dalam produksi dan pengembangan sel surya, drum mesin fotokopi silikon, sensor fotolistrik, serat optik, dan kaca khusus.

Dalam beberapa tahun terakhir, aplikasi silana berteknologi tinggi masih terus bermunculan, termasuk pembuatan keramik canggih, material komposit, material fungsional, biomaterial, material berenergi tinggi, dll., yang menjadi dasar bagi banyak teknologi baru, material baru, dan perangkat baru.