Silanadalah senyawa silikon dan hidrogen, dan merupakan istilah umum untuk serangkaian senyawa. Silana terutama mencakup monosilana (SiH4), disilana (Si2H6) dan beberapa senyawa silikon hidrogen tingkat tinggi, dengan rumus umum SinH2n+2. Namun, dalam produksi sebenarnya, kami umumnya menyebut monosilana (rumus kimia SiH4) sebagai “silana”.

Kelas elektronikgas silanterutama diperoleh melalui berbagai reaksi distilasi dan pemurnian bubuk silikon, hidrogen, silikon tetraklorida, katalis, dll. Silana dengan kemurnian 3N hingga 4N disebut silan kelas industri, dan silan dengan kemurnian lebih dari 6N disebut elektronik- gas silan kelas.

Sebagai sumber gas untuk membawa komponen silikon,gas silantelah menjadi gas khusus penting yang tidak dapat digantikan oleh banyak sumber silikon lainnya karena kemurniannya yang tinggi dan kemampuannya untuk mencapai pengendalian yang baik. Monosilane menghasilkan silikon kristal melalui reaksi pirolisis, yang saat ini merupakan salah satu metode produksi silikon monokristalin granular dan silikon polikristalin skala besar di dunia.

Karakteristik silan

Silana (SiH4)adalah gas tidak berwarna yang bereaksi dengan udara dan menyebabkan mati lemas. Sinonimnya adalah silikon hidrida. Rumus kimia silan adalah SiH4, dan kandungannya mencapai 99,99%. Pada suhu dan tekanan kamar, silan merupakan gas beracun yang berbau busuk. Titik leleh silan adalah -185℃ dan titik didih -112℃. Pada suhu kamar, silan stabil, tetapi bila dipanaskan hingga 400℃, ia akan terurai sempurna menjadi gas silikon dan hidrogen. Silana mudah terbakar dan meledak, dan akan terbakar secara eksplosif di udara atau gas halogen.

Bidang aplikasi

Silane memiliki berbagai kegunaan. Selain menjadi cara paling efektif untuk menempelkan molekul silikon ke permukaan sel selama produksi sel surya, silikon juga banyak digunakan di pabrik seperti semikonduktor, layar panel datar, dan kaca berlapis.

Silanadalah sumber silikon untuk proses pengendapan uap kimia seperti silikon kristal tunggal, wafer epitaksi silikon polikristalin, silikon dioksida, silikon nitrida, dan kaca fosfosilikat dalam industri semikonduktor, dan banyak digunakan dalam produksi dan pengembangan sel surya, drum mesin fotokopi silikon , sensor fotolistrik, serat optik, dan kaca khusus.

Dalam beberapa tahun terakhir, aplikasi silan berteknologi tinggi masih bermunculan, termasuk pembuatan keramik canggih, material komposit, material fungsional, biomaterial, material berenergi tinggi, dll., menjadi dasar dari banyak teknologi baru, material baru, dan produk baru. perangkat.