Silana (SiH4)

Parameter Teknis

Silane adalah senyawa silikon dan hidrogen. Ini adalah istilah umum untuk serangkaian senyawa, termasuk monosilana (SiH4), disilana (Si2H6) dan beberapa senyawa silikon-hidrogen tingkat tinggi. Di antara mereka, monosilane adalah yang paling umum, kadang-kadang disebut sebagai silan. Silane adalah gas tidak berwarna dengan bau bawang putih yang menjijikkan. Larut dalam air, hampir tidak larut dalam etanol, eter, benzena, kloroform, silikon kloroform dan silikon tetraklorida. Sifat kimia silan jauh lebih aktif dibandingkan alkana dan mudah teroksidasi. Pembakaran spontan dapat terjadi jika terkena udara. Ia tidak bereaksi dengan nitrogen di bawah 25°C, dan tidak bereaksi dengan senyawa hidrokarbon pada suhu kamar. Kebakaran dan ledakan silan merupakan hasil reaksi dengan oksigen. Silane sangat sensitif terhadap oksigen dan udara. Silana dengan konsentrasi tertentu juga akan bereaksi secara eksplosif dengan oksigen pada suhu -180°C. Silana telah menjadi gas khusus terpenting yang digunakan dalam proses mikroelektronika semikonduktor, dan digunakan dalam pembuatan berbagai film mikroelektronik, termasuk film kristal tunggal, mikrokristalin, polikristalin, silikon oksida, silikon nitrida, dan silisida logam. Aplikasi mikroelektronik silan masih berkembang secara mendalam: epitaksi suhu rendah, epitaksi selektif, dan epitaksi heteroepitaksial. Tidak hanya untuk perangkat silikon dan sirkuit terpadu silikon, tetapi juga untuk perangkat semikonduktor majemuk (gallium arsenida, silikon karbida, dll.). Ini juga memiliki aplikasi dalam persiapan material sumur kuantum superlattice. Dapat dikatakan bahwa silan digunakan di hampir semua lini produksi sirkuit terpadu canggih di zaman modern. Penerapan silan sebagai film dan pelapis yang mengandung silikon telah berkembang dari industri mikroelektronika tradisional ke berbagai bidang seperti baja, permesinan, bahan kimia, dan optik. Penerapan potensial lain dari silan adalah pembuatan suku cadang mesin keramik berkinerja tinggi, terutama penggunaan silan untuk memproduksi teknologi bubuk mikro silisida (Si3N4, SiC, dll.) telah menarik lebih banyak perhatian.

Aplikasi:

①Elektronik:

Silane diterapkan pada lapisan silikon polikristalin pada wafer silikon saat pembuatan semikonduktor, dan sealant.

②Tenaga surya:

Silane digunakan dalam pembuatan modul fotovoltaik surya.

③Industri:

Ini digunakan dalam Kaca Hijau hemat energi dan diterapkan pada proses film tipis pengendapan uap.

Paket biasa:

Keuntungan:

①Lebih dari sepuluh tahun di pasaran;

②Produsen sertifikat ISO;

③Pengiriman cepat;

④Sumber bahan baku yang stabil;

⑤Sistem analisis online untuk kontrol kualitas di setiap langkah;

⑥Persyaratan tinggi dan proses yang cermat untuk menangani silinder sebelum diisi;

⑦Kemurnian: tingkat elektronik dengan kemurnian tinggi;

⑧Penggunaan: bahan sel surya; membuat polisilikon dengan kemurnian tinggi, silikon oksida dan serat optik; pembuatan kaca berwarna.