Komponen | 99,9999% | Satuan |
Oksigen (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Nitrogen | ≤0,1 | ppmV |
Hidrogen | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorosilan | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Kelembaban (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silana adalah senyawa silikon dan hidrogen. Silana merupakan istilah umum untuk serangkaian senyawa, termasuk monosilana (SiH4), disilana (Si2H6), dan beberapa senyawa silikon-hidrogen tingkat tinggi. Di antara senyawa-senyawa tersebut, monosilana adalah yang paling umum, terkadang disebut silana singkat. Silana adalah gas tak berwarna dengan bau bawang putih yang menyengat. Larut dalam air, hampir tidak larut dalam etanol, eter, benzena, kloroform, silikon kloroform, dan silikon tetraklorida. Sifat kimia silana jauh lebih aktif daripada alkana dan mudah teroksidasi. Pembakaran spontan dapat terjadi ketika bersentuhan dengan udara. Silana tidak bereaksi dengan nitrogen di bawah 25°C, dan tidak bereaksi dengan senyawa hidrokarbon pada suhu kamar. Kebakaran dan ledakan silana merupakan hasil reaksi dengan oksigen. Silana sangat sensitif terhadap oksigen dan udara. Silana dengan konsentrasi tertentu juga akan bereaksi secara eksplosif dengan oksigen pada suhu -180°C. Silana telah menjadi gas khusus terpenting yang digunakan dalam proses mikroelektronika semikonduktor, dan digunakan dalam pembuatan berbagai film mikroelektronika, termasuk film kristal tunggal, mikrokristalin, polikristalin, silikon oksida, silikon nitrida, dan logam silikida. Aplikasi mikroelektronika silana masih berkembang secara mendalam: epitaksi suhu rendah, epitaksi selektif, dan epitaksi heteroepitaksial. Tidak hanya untuk perangkat silikon dan sirkuit terpadu silikon, tetapi juga untuk perangkat semikonduktor majemuk (galium arsenida, silikon karbida, dll.). Ia juga memiliki aplikasi dalam pembuatan material sumur kuantum superlattice. Dapat dikatakan bahwa silana digunakan di hampir semua lini produksi sirkuit terpadu canggih di zaman modern. Aplikasi silana sebagai film dan pelapis yang mengandung silikon telah berkembang dari industri mikroelektronika tradisional ke berbagai bidang seperti baja, mesin, kimia, dan optik. Aplikasi potensial lain dari silana adalah pembuatan komponen mesin keramik berkinerja tinggi, khususnya penggunaan silana untuk pembuatan silisida (Si3N4, SiC, dll.) Teknologi serbuk mikro semakin menarik perhatian.
①Elektronik:
Silana diaplikasikan pada lapisan silikon polikristalin pada wafer silikon saat memproduksi semikonduktor dan sealant.
②Tenaga surya:
Silana digunakan dalam pembuatan modul fotovoltaik surya.
③Industri:
Digunakan dalam Kaca Hijau Hemat Energi dan diaplikasikan pada proses pengendapan film tipis uap.
Produk | Silana SiH4 Cair | |
Ukuran Paket | Silinder 47Ltr | Y-440L |
Mengisi Berat Bersih/Silinder | 10 kg | 125 kg |
JUMLAH Dimuat dalam Kontainer 20' | 250 Silinder | 8 Silinder |
Berat Bersih Total | 2,5 Ton | 1 ton |
Berat Tara Silinder | 52 kg | 680 kg |
Katup | CGA632/DISS632 |
①Lebih dari sepuluh tahun di pasaran;
②Produsen sertifikat ISO;
③Pengiriman cepat;
④Sumber bahan baku yang stabil;
⑤Sistem analisis daring untuk kontrol kualitas di setiap langkah;
⑥Persyaratan tinggi dan proses cermat untuk menangani silinder sebelum pengisian;
⑦Kemurnian: tingkat elektronik dengan kemurnian tinggi;
⑧Penggunaan: bahan sel surya; pembuatan polisilikon, silikon oksida dan serat optik dengan kemurnian tinggi; pembuatan kaca berwarna.