Pada tahun 2018, pasar gas elektronik global untuk sirkuit terpadu mencapai US$4,512 miliar, meningkat 16% dibandingkan tahun sebelumnya. Laju pertumbuhan industri gas khusus elektronik untuk semikonduktor yang tinggi dan ukuran pasar yang besar telah mempercepat rencana substitusi domestik untuk gas khusus elektronik!
Apa itu gas elektron?
Gas elektronik mengacu pada bahan baku dasar yang digunakan dalam produksi semikonduktor, layar panel datar, dioda pemancar cahaya, sel surya, dan produk elektronik lainnya, serta banyak digunakan dalam proses pembersihan, etsa, pembentukan film, doping, dan proses lainnya. Bidang aplikasi utama gas elektronik meliputi industri elektronik, sel surya, komunikasi seluler, navigasi mobil, sistem audio dan video mobil, kedirgantaraan, industri militer, dan banyak bidang lainnya.
Gas khusus elektronik dapat dibagi menjadi tujuh kategori berdasarkan komposisi kimianya: silikon, arsenik, fosfor, boron, hidrida logam, halida, dan alkoksida logam. Berdasarkan metode aplikasinya dalam sirkuit terpadu, gas ini dapat dibagi menjadi gas doping, gas epitaksi, gas implantasi ion, gas dioda pemancar cahaya, gas etsa, gas deposisi uap kimia, dan gas keseimbangan. Terdapat lebih dari 110 unit gas khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor, dengan lebih dari 30 di antaranya merupakan gas yang umum digunakan.
Secara umum, industri produksi semikonduktor membagi gas menjadi dua jenis: gas umum dan gas khusus. Di antara keduanya, gas yang umum digunakan mengacu pada pasokan terpusat dan penggunaan gas yang banyak, seperti N2, H2, O2, Ar, He, dll. Gas khusus mengacu pada beberapa gas kimia yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor, seperti ekstensi, injeksi ion, pencampuran, pencucian, dan pembentukan masker, yang sekarang kita sebut gas khusus elektronik, seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, dll. dengan kemurnian tinggi.
Dalam seluruh proses produksi industri semikonduktor, mulai dari pengembangan chip hingga pengemasan perangkat akhir, hampir setiap mata rantai tidak dapat dipisahkan dari gas khusus elektronik. Beragamnya jenis gas yang digunakan serta persyaratan kualitas yang tinggi, menjadikan gas elektronik sebagai bahan semikonduktor. "Makanan".
Dalam beberapa tahun terakhir, komponen elektronik utama Tiongkok seperti semikonduktor dan panel layar telah meningkatkan kapasitas produksi baru, dan terdapat permintaan yang kuat untuk substitusi impor bahan kimia elektronik. Posisi gas elektronik dalam industri semikonduktor semakin menonjol. Industri gas elektronik domestik akan mengalami pertumbuhan pesat.
Gas khusus elektronik memiliki persyaratan kemurnian yang sangat tinggi. Jika kemurniannya tidak memenuhi persyaratan, gugus pengotor seperti uap air dan oksigen dalam gas khusus elektronik akan mudah membentuk lapisan oksida pada permukaan semikonduktor. Hal ini memengaruhi masa pakai perangkat elektronik. Gas khusus elektronik juga mengandung partikel pengotor yang dapat menyebabkan korsleting semikonduktor dan kerusakan sirkuit. Peningkatan kemurnian berperan penting dalam hasil dan kinerja produksi perangkat elektronik.
Seiring dengan perkembangan industri semikonduktor yang berkelanjutan, proses manufaktur chip terus meningkat, dan kini telah mencapai 5nm, yang hampir mencapai batas Hukum Moore, yaitu setara dengan seperdua puluh diameter rambut manusia (sekitar 0,1 mm). Oleh karena itu, hal ini juga menuntut persyaratan yang lebih tinggi terhadap kemurnian gas khusus elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Waktu posting: 15-Des-2021
