Pada tahun 2018, pasar gas elektronik global untuk sirkuit terpadu mencapai US$4,512 miliar, meningkat sebesar 16% dibandingkan tahun lalu. Tingginya tingkat pertumbuhan industri gas khusus elektronik untuk semikonduktor dan besarnya ukuran pasar telah mempercepat rencana substitusi gas khusus elektronik dalam negeri!
Apa itu gas elektron?
Gas elektronik mengacu pada bahan sumber dasar yang digunakan dalam produksi semikonduktor, layar panel datar, dioda pemancar cahaya, sel surya, dan produk elektronik lainnya, dan banyak digunakan dalam pembersihan, etsa, pembentukan film, doping, dan proses lainnya. Area penerapan utama gas elektronik meliputi industri elektronik, sel surya, komunikasi seluler, navigasi mobil dan sistem audio dan video mobil, dirgantara, industri militer dan banyak bidang lainnya.
Gas khusus elektronik dapat dibagi menjadi tujuh kategori menurut komposisi kimianya: silikon, arsenik, fosfor, boron, logam hidrida, halida, dan logam alkoksida. Menurut metode penerapan yang berbeda dalam sirkuit terpadu, gas ini dapat dibagi menjadi gas doping, gas epitaksi, gas implantasi ion, gas dioda pemancar cahaya, gas etsa, gas pengendapan uap kimia, dan gas keseimbangan. Terdapat lebih dari 110 unit gas khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor, lebih dari 30 di antaranya umum digunakan.
Secara umum, industri produksi semikonduktor membagi gas menjadi dua jenis: gas biasa dan gas khusus. Diantaranya, gas yang umum digunakan mengacu pada pasokan terpusat dan menggunakan banyak gas, seperti N2, H2, O2, Ar, He, dll. Gas khusus mengacu pada beberapa gas kimia yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor, seperti sebagai ekstensi, injeksi ion, pencampuran, pencucian, dan pembentukan masker, yang sekarang kita sebut gas khusus elektronik, seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6 dengan kemurnian tinggi, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, dll.
Dalam keseluruhan proses produksi industri semikonduktor, mulai dari pertumbuhan chip hingga pengemasan perangkat akhir, hampir setiap mata rantai tidak dapat dipisahkan dari gas khusus elektronik, dan variasi gas yang digunakan serta persyaratan kualitas yang tinggi, sehingga gas elektronik memiliki bahan semikonduktor. "Makanan".
Dalam beberapa tahun terakhir, komponen elektronik utama Tiongkok seperti semikonduktor dan panel layar telah meningkatkan kapasitas produksi baru, dan terdapat permintaan yang kuat untuk substitusi impor bahan kimia elektronik. Posisi gas elektronik dalam industri semikonduktor semakin menonjol. Industri gas elektronik dalam negeri akan mengalami pertumbuhan pesat.
Gas khusus elektronik mempunyai persyaratan kemurnian yang sangat tinggi, karena jika kemurniannya tidak memenuhi persyaratan, maka kelompok pengotor seperti uap air dan oksigen dalam gas khusus elektronik akan dengan mudah membentuk lapisan oksida pada permukaan semikonduktor, yang mempengaruhi masa pakai perangkat elektronik, dan gas khusus elektronik mengandung Partikel pengotor dapat menyebabkan korsleting semikonduktor dan kerusakan sirkuit. Dapat dikatakan bahwa peningkatan kemurnian memainkan peran penting dalam hasil dan kinerja produksi perangkat elektronik.
Dengan terus berkembangnya industri semikonduktor, proses pembuatan chip terus meningkat, dan kini telah mencapai 5nm, mendekati batas Hukum Moore, yaitu setara dengan seperdua puluh diameter rambut manusia ( sekitar 0,1mm). Oleh karena itu, hal ini juga mengajukan persyaratan yang lebih tinggi terhadap kemurnian gas khusus elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Waktu posting: 15 Des-2021
