Pada tahun 2018, pasar gas elektronik global untuk sirkuit terpadu mencapai US$4,512 miliar, meningkat 16% dibandingkan tahun sebelumnya. Tingkat pertumbuhan yang tinggi dari industri gas khusus elektronik untuk semikonduktor dan ukuran pasar yang besar telah mempercepat rencana substitusi gas khusus elektronik di dalam negeri!
Apa itu gas elektron?
Gas elektronik mengacu pada bahan baku dasar yang digunakan dalam produksi semikonduktor, layar panel datar, dioda pemancar cahaya, sel surya, dan produk elektronik lainnya, serta banyak digunakan dalam proses pembersihan, etsa, pembentukan film, doping, dan proses lainnya. Bidang aplikasi utama gas elektronik meliputi industri elektronik, sel surya, komunikasi seluler, navigasi mobil dan sistem audio dan video mobil, kedirgantaraan, industri militer, dan banyak bidang lainnya.
Gas khusus elektronik dapat dibagi menjadi tujuh kategori berdasarkan komposisi kimianya: silikon, arsenik, fosfor, boron, hidrida logam, halida, dan alkoksida logam. Menurut metode aplikasi yang berbeda dalam sirkuit terpadu, gas ini dapat dibagi menjadi gas doping, gas epitaksi, gas implantasi ion, gas dioda pemancar cahaya, gas etsa, gas deposisi uap kimia, dan gas penyeimbang. Terdapat lebih dari 110 jenis gas khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor, di mana lebih dari 30 di antaranya umum digunakan.
Secara umum, industri produksi semikonduktor membagi gas menjadi dua jenis: gas umum dan gas khusus. Di antaranya, gas umum mengacu pada gas yang pasokannya terpusat dan banyak digunakan, seperti N2, H2, O2, Ar, He, dll. Gas khusus mengacu pada beberapa gas kimia yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor, seperti ekstensi, injeksi ion, pencampuran, pencucian, dan pembentukan masker, yang sekarang kita sebut gas khusus elektronik, seperti SiH4 dengan kemurnian tinggi, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, dll.
Dalam keseluruhan proses produksi industri semikonduktor, dari pertumbuhan chip hingga pengemasan perangkat akhir, hampir setiap环节 tidak terlepas dari gas khusus elektronik, dan karena beragamnya gas yang digunakan serta persyaratan kualitas yang tinggi, gas elektronik menjadi "makanan" bagi material semikonduktor.
Dalam beberapa tahun terakhir, komponen elektronik utama Tiongkok seperti semikonduktor dan panel display telah meningkatkan kapasitas produksi baru, dan terdapat permintaan yang kuat untuk substitusi impor bahan kimia elektronik. Posisi gas elektronik dalam industri semikonduktor menjadi semakin menonjol. Industri gas elektronik domestik akan mengalami pertumbuhan yang pesat.
Gas khusus elektronik memiliki persyaratan kemurnian yang sangat tinggi, karena jika kemurniannya tidak memenuhi persyaratan, kelompok pengotor seperti uap air dan oksigen dalam gas khusus elektronik akan mudah membentuk lapisan oksida pada permukaan semikonduktor, yang memengaruhi masa pakai perangkat elektronik, dan gas khusus elektronik yang mengandung partikel pengotor dapat menyebabkan korsleting semikonduktor dan kerusakan sirkuit. Dapat dikatakan bahwa peningkatan kemurnian memainkan peran penting dalam hasil dan kinerja produksi perangkat elektronik.
Seiring dengan perkembangan industri semikonduktor yang berkelanjutan, proses pembuatan chip terus meningkat, dan kini telah mencapai 5nm, yang hampir mendekati batas Hukum Moore, yang setara dengan seperduapuluh diameter rambut manusia (sekitar 0,1 mm). Oleh karena itu, hal ini juga menuntut persyaratan yang lebih tinggi terhadap kemurnian gas khusus elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Waktu posting: 15 Desember 2021
