Pada tahun 2018, pasar gas elektronik global untuk sirkuit terpadu mencapai US$4,512 miliar, meningkat 16% dari tahun ke tahun.Tingkat pertumbuhan yang tinggi dari industri gas khusus elektronik untuk semikonduktor dan ukuran pasar yang besar telah mempercepat rencana substitusi gas khusus elektronik dalam negeri!
Apa itu gas elektron?
Gas elektronik mengacu pada bahan sumber dasar yang digunakan dalam produksi semikonduktor, layar panel datar, dioda pemancar cahaya, sel surya, dan produk elektronik lainnya, dan banyak digunakan dalam pembersihan, etsa, pembentukan film, doping, dan proses lainnya.Area aplikasi utama gas elektronik meliputi industri elektronik, sel surya, komunikasi seluler, navigasi mobil dan sistem audio dan video mobil, ruang angkasa, industri militer, dan banyak bidang lainnya.
Gas khusus elektronik dapat dibagi menjadi tujuh kategori sesuai dengan komposisi kimianya: silikon, arsenik, fosfor, boron, logam hidrida, halida, dan logam alkoksida.Menurut metode aplikasi yang berbeda di sirkuit terpadu, dapat dibagi menjadi gas doping, gas epitaksi, gas implantasi ion, gas dioda pemancar cahaya, gas etsa, gas pengendapan uap kimia, dan gas keseimbangan.Ada lebih dari 110 unit gas khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor, lebih dari 30 di antaranya biasa digunakan.
Secara umum, industri produksi semikonduktor membagi gas menjadi dua jenis: gas biasa dan gas khusus.Diantaranya, gas yang umum digunakan mengacu pada pasokan terpusat dan menggunakan banyak gas, seperti N2, H2, O2, Ar, He, dll. Gas khusus mengacu pada beberapa gas kimia yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor, seperti sebagai ekstensi, injeksi ion, pencampuran, pencucian, dan pembentukan masker, yang sekarang kita sebut gas khusus elektronik, seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, dll.
Dalam seluruh proses produksi industri semikonduktor, mulai dari pertumbuhan chip hingga pengemasan perangkat akhir, hampir setiap tautan tidak dapat dipisahkan dari gas khusus elektronik, dan variasi gas yang digunakan serta persyaratan kualitas tinggi, sehingga gas elektronik memiliki bahan semikonduktor."Makanan".
Dalam beberapa tahun terakhir, komponen elektronik utama China seperti semikonduktor dan panel layar telah meningkat dalam kapasitas produksi baru, dan terdapat permintaan yang kuat untuk substitusi impor bahan kimia elektronik.Posisi gas elektronik dalam industri semikonduktor semakin menonjol.Industri gas elektronik dalam negeri akan mengantarkan pertumbuhan yang cepat.
Gas khusus elektronik memiliki persyaratan kemurnian yang sangat tinggi, karena jika kemurniannya tidak memenuhi persyaratan, kelompok pengotor seperti uap air dan oksigen dalam gas khusus elektronik akan dengan mudah membentuk film oksida pada permukaan semikonduktor, yang mempengaruhi masa pakai perangkat elektronik, dan gas khusus elektronik mengandung Partikel pengotor dapat menyebabkan korsleting semikonduktor dan kerusakan sirkuit.Dapat dikatakan bahwa peningkatan kemurnian memainkan peran penting dalam hasil dan kinerja produksi perangkat elektronik.
Dengan perkembangan industri semikonduktor yang berkelanjutan, proses pembuatan chip terus meningkat, dan sekarang telah mencapai 5nm, yang akan mendekati batas Hukum Moore, yang setara dengan satu per dua puluh diameter rambut manusia ( sekitar 0,1 mm).Oleh karena itu, ini juga mengedepankan persyaratan yang lebih tinggi pada kemurnian gas khusus elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Waktu posting: 15 Des-2021
